사이버 개선을 위한 PPP 컨소시엄

May 12, 2023

최근 NWO KIC 프로젝트 'REGENERATE'가 시작됐다. 이러한 공공-민간 파트너십(PPP) 내에서 지식 기관과 산업 파트너는 컴퓨터 칩을 만드는 리소그래피 기계와 같은 신뢰할 수 있는 첨단 모션 시스템을 연구하고 있습니다.

2023년 5월 31일, NWO KIC 프로젝트 'REGENERATE'의 킥오프 미팅이 진행되었습니다. CWI의 Multiscale Dynamics 연구 그룹의 Jannis Teunissen은 공동 지원자 중 한 명이었습니다. 이러한 공공-민간 파트너십(PPP) 내에서 지식 기관과 산업 파트너는 컴퓨터 칩 생산에 사용되는 리소그래피 기계와 같은 신뢰할 수 있는 첨단 모션 시스템을 개발하기 위해 노력하고 있습니다. CWI에서는 박사 과정 학생 한 명이 2024년 초에 이 프로그램을 시작할 예정입니다.

Jannis Teunisse: "이 프로젝트는 여러 가지 이유로 흥미진진합니다. 많은 새로운 협력이 있을 것이고, 산업에 직접적인 영향을 미칠 가능성이 있으며, (원치 않는) 전기 방전과 재료 품질 저하 사이의 관계에 대해 더 많이 배울 수 있는 기회입니다." REGENERATE의 공동 신청자는 Eindhoven University of Technology(프로젝트 리더), CWI 및 Delft University of Technology입니다. 공동 자금 제공자는 ASML과 Tecnotion입니다.

프로그램 이름 'REGENERATE'는 'Reliable Next Generation Actuation Systems'을 의미합니다. 소위 선형 전자기 액추에이터는 하이테크 모션 시스템에 사용됩니다. 예를 들어, 리소그래피 기계에서 나노미터 정밀도로 웨이퍼 위치를 지정할 수 있습니다. 가속도 및 정밀도에 대한 요구 사항이 증가함에 따라 기계적, 전자기적, 열적 스트레스가 높아지고 복구 불가능한 오류가 발생하고 있습니다. 따라서 신뢰성이 주요 관심사가 되었습니다. 그러나 실패 메커니즘은 현재 제대로 이해되지 않고 있습니다. 이 종합 프로젝트에서 연구원들은 실험적 측정과 결합된 이론적 모델을 사용하여 주요 고장 메커니즘을 연구할 것입니다. 결과는 파트너 ASML 및 Tecnotion의 미래 선형 액추에이터 시스템과 신뢰성을 개선하는 데 사용됩니다.

출처: https://www.nwo.nl/en/news/two-ppp-consortia-will-kick-improving-cyber-physical-systems.

사진: 2023년 5월 31일 REGENERATE 킥오프 회의. Jannis Teunissen(CWI) 오른쪽에서 두 번째; 프로젝트 리더인 Elena Lomonova 교수(TU/e) 오른쪽에서 6번째.